一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置的制作方法

文档序号:17687251发布日期:2019-05-17 20:44
一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置的制作方法

本实用新型涉及蚀刻液的制备技术领域,具体涉及一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置。



背景技术:

FT基板上设置有大量的薄膜、薄层,所以为了防止这些之间发生不希望的电短路,优选将蚀刻后的基板的切断侧面即蚀刻轮廓(profile)均等地倾斜,且下方比上方宽,为钝锥(taper)形状。这是由于蚀刻轮廓为钝锥形状的情况下,所形成的2个以上的薄膜层之间的高度差会减少。蚀刻方法具有利用气体的干式蚀刻和利用蚀刻液的湿式蚀刻,尽管湿式蚀刻具有缺点,但是其工序所需的设备投资费用低,无需将蚀刻环境维持在高真空状态,对掩模和基板均有优异的蚀刻选择性。主要成分为氢氟酸(HF)和氟化铵(NH4F)的酸性氟化铵蚀刻液又称为B.O.E.(Buffered Oxide Etch)蚀刻液,在半导体工业中也常广泛使用于蚀刻无光刻胶护罩的氧化层。其中,氢氟酸中的氟化氢是主要的蚀刻成份,氟化铵是作为氟化氢的缓冲剂,以补充氟离子在溶液中因蚀刻反应的消耗,维持蚀刻液中氢离子的浓度,使之保持一定的蚀刻速率。

目前,现有的蚀刻液生产系统中,过滤装置通常采用过滤网,将蚀刻液中的杂质等截留在过滤网内部,如此不断的过滤,被截留下来的杂质越来越多,过滤速度越来越慢,而蚀刻液仍源源不断地进入,过滤网的滤孔越来越小,由此在过滤网内外产生压力差。当压力差达到设定值时,需将整个生产系统停止后并启动过滤清洗装置对其进行反洗,当滤网清洗完毕后,整个生产系统才能正常运行非常不利于生产的进行。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种过滤效果好,可连续过滤生产,滤渣容易清理的氟化铵蚀刻液的制备装置。

为实现上述目的,本实用新型的技术方案是设计一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置,包括依次连接的辛胺储罐、第一混合罐、第二混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐,所述第一混合罐上还连接有添加剂储罐,所述第二混合罐上还连接有氟化铵储罐、氟氢酸储罐和去离子水储罐,所述过滤装置包括一个过滤罐体、设置在过滤罐体内部的过滤件及设置在过滤罐体上的进料口、出料口和排污口,所述进料口位于过滤罐体的侧壁处,所述出料口位于过滤罐体的顶部,所述排污口位于过滤罐体底部,所述排污口设有相适配的塞子;所述过滤件为圆锥形滤网,且圆锥形滤网的大端口与过滤罐体内壁密封固定连接,所述过滤罐体出料口后管路上设有采出泵,所述过滤罐体出料口通过管路与采出泵连接后再与成品罐进口相连。该制备装置成品的过滤方式为反向过滤,蚀刻液由下往上流动,从而可以使滤渣留存在下方,由于滤渣一般自重比滤液大,其会往下沉淀,从而可通过过滤罐体底端的排污口排出;滤后澄清液可以通过采出泵由下而上通过管道泵出流向出料口;滤渣不会过多堆积在滤网处,滤网承受的阻力小,拆洗方便,使用寿命长。

优选的技术方案为,所述圆锥形滤网的大端口在上侧,小端口在下侧。

优选的技术方案为,所述过滤罐体上还设有冲洗口,所述冲洗口位于过滤罐体的顶部。过滤罐体的顶部设有冲洗口,当整个生产任务完成后,无需将过滤罐体内的圆锥形过滤网拆除冲洗,可直接从过滤罐体顶部的冲洗口连接通水系统进行反向冲洗,冲洗处的滤渣从过滤罐体底部的排污口排出,省时省力。

优选的技术方案为,所述的过滤装置包括多个并联连接的过滤罐体,所述每一个单独的过滤罐体进料口前的管路上均设置一个调节阀。过滤装置中采用多个独立的过滤罐体进行并联连接,当某一个过滤罐体中的过滤网的杂质过多时,只需要将杂质过多的过滤罐体前的调节阀关闭,在进行过滤网的清洗或更换,缩短了过滤网的清洗或更换时间,且不影响其他过滤罐体的工作,提高了工作效率,节约生产成本,提高经济效率。

优选的技术方案为,所述第一混合罐、第二混合罐内均设有搅拌器,所述搅拌器为转速可调式搅拌器。混合罐内均设有搅拌器,且搅拌器为转速可调节的,不同的组份混合进入混合罐时,采用不同的搅拌速度,使各组分混合更彻底。

优选的技术方案为,所述第一混合罐、第二混合罐和成品罐内壁均为聚四氟乙烯层。

本实用新型的优点和有益效果在于:本实用新型提供的酸性氟化铵蚀刻液的制备装置,所述的混合罐内采用转速调节式搅拌器,提高了各组分的混合均匀度,另外,过滤罐体中采用圆锥形过滤网,滤渣不会过多堆积在滤网处,滤网承受的阻力小,拆洗方便,使用寿命长,采用多个独立的过滤罐体进行并联连接,当某一个过滤罐体中的过滤网的杂质过多时,只需要将杂质过多的过滤罐体前的调节阀关闭,在进行过滤网的清洗或更换,缩短了过滤网的清洗或更换时间,且不影响其他过滤罐体的工作,提高了工作效率,节约生产成本,提高经济效率。

附图说明

图1是本实用新型酸性氟化铵蚀刻液制备装置的结构示意图;

图2是本实用新型过滤装置结构示意图。

图中:1、辛胺储罐;2、添加剂储罐;3、第一混合罐;4、氟化铵储罐;5、氟氢酸储罐;6、去离子水储罐;7、第二混合罐;8、调节阀;9、过滤装置;911、过滤罐体;912、圆锥形过滤网;913、进料口;914、出料口;915、冲洗口;916、排污口;10、采出泵;11、成品罐;12、搅拌器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1、2所示,一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置,包括依次连接的辛胺储罐1、第一混合罐3、第二混合罐7、调节阀8、过滤装置9和成品罐11,所述第一混合罐3上还连接有添加剂储罐2,所述第二混合罐7上还连接有氟化铵储罐4、氟氢酸储罐5和去离子水储罐6,所述过滤装置9包括一个过滤罐体911、设置在过滤罐体911内部的过滤件及设置在过滤罐体911上的进料口913、出料口914和排污口916,所述进料口913位于过滤罐体911的侧壁处,所述出料口914位于过滤罐体911的顶部,所述排污口916位于过滤罐体911底部,所述排污口916设有相适配的塞子;所述过滤件为圆锥形滤网912,且圆锥形滤网912的大端口与过滤罐体911内壁密封固定连接,所述过滤罐体911出料口914后管路上设有采出泵10,所述过滤罐体911出料口914通过管路与采出泵10连接后再与成品罐11进口相连。

所述圆锥形滤网912的大端口在上侧,小端口在下侧。

所述过滤罐体911上还设有冲洗口915,所述冲洗口915位于过滤罐体911的顶部。

所述的过滤装置9包括多个并联连接的过滤罐体911,所述每一个单独的过滤罐体911进料口913前的管路上均设置一个调节阀。

所述第一混合罐3、第二混合罐4内均设有搅拌器12,所述搅拌器11为转速调节式搅拌器。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

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